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                  水处理技术支持
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                  超纯水设备水质标准 高纯水水质试行标准
                  发布者:皓泉水处理 发布日期:2017-09-26 浏览

                  我国电子工业部高纯水水质试行标准

                  化学指标单位:μg/L

                  序号

                  水质项目

                  一级高纯水指标

                  二级高纯水指标

                  1

                  电阻率(25℃)MΩ·cm

                  15

                  10

                  2

                  电导率,μs/cm

                  0.05

                  0.1

                  3

                  PH

                  6.87.2

                  6.67.4

                  4

                  细菌总数,个/mL

                  3

                  9

                  5

                  微粒(直径>0.5μm,粒/mL

                  150

                  300

                  6

                  二氧化硅

                  10

                  20

                  7

                  有机物(以COD计)

                  0.3

                  0.5

                  8

                  Na

                  0.5

                  2

                  9

                  Fe

                  1

                  2

                  10

                  Cu

                  0.5

                  1

                  11

                  Ca

                  1

                  3

                  12

                  Mg

                  0.2

                  1

                  13

                  Zn

                  0.5

                  1

                  14

                  Mn

                  0.2

                  0.5

                  说明:一级高纯水适用于大规模集成电路,微波器件以及有相同要求到半导体器件产品。
                  二级高纯水适用于一般电路,分立器件以及有相同要求的半导体器件产品。
                  本表按1980年电子工业部标准摘录。

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